我国首台薄膜太阳能电池关键生产设备下线

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新华网上海1月8日电 （记者 叶锋 陆文军）中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD），8日在上海理想能源设备公司（下文简称“理想能源”）成功下线，这被视为中国在新能源高端装备领域取得的新突破。
据介绍，“中国造”的PECVD性能领先于国外同类产品，但价格大幅低于后者。中国工业和信息化部装备工业司副司长李东表示，高端薄膜太阳能电池关键生产设备的研制成功，为中国新能源产业下一步的发展奠定了坚实基础。
以往，晶体硅太阳能电池占据主流地位。不过，被视为“第二代技术”的硅基薄膜太阳电池技术近年来“异军突起”。这类电池是在玻璃、金属或塑料等基板上沉积很薄的光电材料而制成，它在弱光条件下仍可发电，既可应用于大规模光伏电站，也可制成柔性及半透明电池、实现真正的光伏建筑一体化应用。此外，该电池可大幅降低生产过程的能耗，具备显著降低原料和制造成本的潜力。
不过，薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备PECVD，更是高达上千万美元，长期以来一直被欧洲、美国和日本的企业垄断。一直以来，中国企业的此类设备全需进口。生产设备制造成本之高，占到薄膜太阳能电池发电成本的七成左右，这导致光伏上网价格比传统电价高出15％甚至更多，其产业化瓶颈十分明显。
在上海市政府、浦东新区政府等各方支持下，一年多里，理想能源相继完成了PECVD首台机的研发、中试、下线，并申请了10多项核心技术专利。理想能源事业发展部执行总监曹炼生介绍，首台机采用了创新的超高频射频技术，精密的真空和温度控制技术，快速的自动传输技术以及多腔多片的反应腔系统等，大大提高了产能，其产品性能优于国际一流设备，但价格远低于同等的进口设备，“将打通中国薄膜太阳能电池产业化的关键环节”。